Überblick

Sensorlösungen für die Halbleiterindustrie
Trends & News

Füllstandmessung bei korrosiven Chemikalien in Halbleiterwafer-Prozessanlagen
In vielen Industrien gehören herausfordernde Umgebungsbedingungen unterschiedlichster Art zum Produktionsalltag. Systeme und Sensoren, die für einen sicheren Produktionsablauf sorgen, brauchen besonderen Schutz vor starker Verschmutzung oder aggressiven Chemikalien. In den Kernprozessen der Front-End-Produktion z. B. sind Chemikalien für die Oberflächenbearbeitung und Reinigung der Halbleiterwafer unverzichtbar.
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Prüfstelle und Qualitätsgarant für jeden Einsatz
Qualität und Präzision stellen in der Elektronikindustrie zentrale Faktoren für intelligente Fertigungskonzepte dar: Nur wer den Wertschöpfungsprozess durch die kontinuierliche Auswertung von Messergebnissen begleitet, kann eine hohe Qualität der einzelnen Komponenten bis hin zum Endprodukt gewährleisten. Die optische Messtechnik von SICK verbindet Präzision und Qualität zu einer Einheit - mit Messinstrumenten, die direkt im Produktionsprozess integriert sind.
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Herausforderungen

Detektieren und messen
Die Halbleiterindustrie stellt sehr hohe Anforderungen an Detektions- und Messaufgaben. Es gilt, kleinste Teile wie Bonddrähte oder anspruchsvolle Oberflächen von Halbleiterwafern zu detektieren. Gleichzeitig sind Sensoren in vielen Prozessmaschinen rauen Umgebungsbedingungen ausgesetzt. Dazu zählen Kontakt zu Chemikalien, hohe Temperaturen bis hin zu Vakuumumgebungen. Dank einem breiten Technologieportfolio meistern Sensorlösungen von SICK diese Herausforderungen.

Absichern
Um Menschen und Prozesse zu schützen, sind in der Halbleiterindustrie nicht nur Maschinen abzusichern. Auch bei autonomen Logistikprozessen kommt Sicherheitstechnik zum Einsatz. SICK unterstützt Halbleiter- und Anlagenhersteller mit einem breiten Technologieportfolio an Sicherheitslösungen. Zudem begleitet SICK seine Kunden mit einem umfassenden Serviceangebot, zu dem u. a. Beratung und Unterstützung bei der Inbetriebnahme sowie Training und Weiterbildung gehören.

Überwachen und kontrollieren
Halbleiterwafer und -chips müssen sehr hohe Qualitätsansprüche erfüllen. Die sehr kleinen Strukturen auf Halbleiterwafern und -chips erfordern von Lösungen zur Qualitätskontrolle hochgenaue Messungen. Vision-Sensoren und hochauflösende Displacement-Messsensoren stellen sicher, dass Test- und Inspektionsanlagen diesen Ansprüchen gerecht werden.

Identifizieren
Eine zuverlässige Objektidentifikation ist Voraussetzung für einen flüssigen Produktionsablauf und stellt die Grundlage zur Nachverfolgbarkeit und kontinuierlichen Qualitätsverbesserung dar. SICK bietet ein breites Portfolio an fest installierten und mobilen Lesegeräten für Barcodes, 2D-Codes und RFID-Technologie.